技術說明
| 電源功率範圍 | 10-120KW |
輸入電源 | AC380V 三相四線制 50-60Hz ±10% |
輸出頻率 | 40KHz |
輸出電壓 | 空載1000V[有效值] |
滅弧時間 | ≤3uS |
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注：電源的輸出特性可根據使用需要做出相應的調整。
中頻交流磁控濺射電源
中頻交流磁控濺射電源
中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出，電源輸出頻率設為典型的中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，兩個靶交替工作，因此濺射靶一個濺射周期内一半以上的時間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分洩放時，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特别适用于反應膜層環境使用。
