工作原理
莫爾條紋
以透射光栅為例,當指示光栅上的線紋和标尺光栅上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個光栅尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位于幾乎垂直的栅紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋”。嚴格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光栅線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
W=ω/2*sin(θ /2)=ω/θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規律
兩片光栅相對移過一個栅距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與幹涉作用,莫爾條紋的變化規律近似正(餘)弦函數,變化周期數與光栅相對位移的栅距數同步。
(2)放大作用
在兩光栅栅線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光栅栅距ω、栅線角θ之間有下列關系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則W=ω/θ,若ω=0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光栅放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若幹光栅條紋共用形成,例如每毫米100線的光栅,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣栅距之間的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于栅距不均勻、斷裂等造成的誤差。
檢測與數據處理
光栅測量位移的實質是以光栅栅距為一把标準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光栅尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統分辨率,需要對莫爾條紋進行細分,目前(2006年)光栅尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光栅以微小傾角重疊時,在與光栅刻線大緻垂直的方向上就會産生莫爾條紋,随着光栅的移動,莫爾條紋也随之上下移動。這樣就把對光栅栅距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。
在一個莫爾條紋寬度内,按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如,栅線為50線對/mm的光栅尺,其光栅栅距為0.02mm,若采用四細分後便可得到分辨率為5μm的計數脈沖,這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信号。
為了消除共模幹擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信号分别送到2隻差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信号其相位差為π/2,為得到判向和計數脈沖,需對這兩路信号進行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然後,通過對方波的相位進行判别比較,就可以等到光栅尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數,可以等到光栅尺的位移和速度。
安裝指導
光栅尺線位移傳感器的安裝比較靈活,可安裝在機床的不同部位。
一般将主尺安裝在機床的工作台(滑闆)上,随機床走刀而動,讀數頭固定在床身上,盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時,則必須增加輔助密封裝置。另外,一般情況下,讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上,此時輸出導線不移動易固定,而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上(如滑闆)。
1、光栅尺線位移傳感器安裝基面
安裝光栅尺傳感器時,不能直接将傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,更不能安裝在打底塗漆的機床身上。光栅主尺及讀數頭分别安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作台的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上,移動工作台,要求達到平行度為0.1mm/1000mm以内。如果不能達到這個要求,則需設計加工一件光栅尺基座。
基座要求做到:(1)應加一根與光栅尺尺身長度相等的基座(最好基座長出光栅尺50mm左右)。(2)該基座通過銑、磨工序加工,保證其平面平行度0.1mm/1000mm以内。另外,還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時,調整讀數頭位置,達到讀數頭與光栅尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數頭與光栅尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光栅尺線位移傳感器主尺安裝
将光栅主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作台安裝面上,但不要上緊,把千分表固定在床身上,移動工作台(主尺與工作台同時移動)。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度,調整主尺M4螺釘位置,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以内時,把M2螺釘徹底上緊。
在安裝光栅主尺時,應注意如下三點:
(1)在裝主尺時,如安裝超過1.5M以上的光栅時,不能象橋梁式隻安裝兩端頭,尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好後,最好用一個卡子卡住尺身中點(或幾點)。(3)不能安裝卡子時,最好用玻璃膠粘住光栅尺身,使基尺與主尺固定好。
3、光栅尺線位移傳感器讀數頭的安裝
在安裝讀數頭時,首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求,然後再安裝讀數頭,其安裝方法與主尺相似。最後調整讀數頭,使讀數頭與光栅主尺平行度保證在0.1mm之内,其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以内。
4、光栅尺線位移傳感器限位裝置
光栅線位移傳感器全部安裝完以後,一定要在機床導軌上安裝限位裝置,以免機床加工産品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端,從而損壞光栅尺。另外,用戶在選購光栅線位移傳感器時,應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光栅尺,以留有餘量。
5、光栅尺線位移傳感器檢查
光栅線位移傳感器安裝完畢後,可接通數顯表,移動工作台,觀察數顯表計數是否正常。
在機床上選取一個參考位置,來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同(或回零)。另外也可使用千分表(或百分表),使千分表與數顯表同時調至零(或記憶起始數據),往返多次後回到初始位置,觀察數顯表與千分表的數據是否一緻。
通過以上工作,光栅尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講,鐵屑、切削液及油污較多。因此,傳感器應附帶加裝護罩,護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸确定,護罩通常采用橡皮密封,使其具備一定的防水防油能力。
使用注意事項
(1)光栅尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源後進行。
(2)盡可能外加保護罩,并及時清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴格防止任何異物進入光栅尺傳感器殼體内部。
(3)定期檢查各安裝聯接螺釘是否松動。
(4)為延長防塵密封條的壽命,可在密封條上均勻塗上一薄層矽油,注意勿濺落在玻璃光栅刻劃面上。
(5)為保證光栅尺傳感器使用的可靠性,可每隔一定時間用乙醇混合液(各50%)清洗擦拭光栅尺面及指示光栅面,保持玻璃光栅尺面清潔。
(6)光栅尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打,以免破壞光栅尺,如光栅尺斷裂,光栅尺傳感器即失效了。
(7)不要自行拆開光栅尺傳感器,更不能任意改動主栅尺與副栅尺的相對間距,否則一方面可能破壞光栅尺傳感器的精度;另一方面還可能造成主栅尺與副栅尺的相對摩擦,損壞鉻層也就損壞了栅線,以而造成光栅尺報廢。
(8)應注意防止油污及水污染光栅尺面,以免破壞光栅尺線條紋分布,引起測量誤差。
(9)光栅尺傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作,以免腐蝕光栅鉻層及光栅尺表面,破壞光栅尺質量。



















