定義
什麼是磁傳感器,就是把磁場、電流、應力應變、溫度、光等外界因素引起敏感元件磁性能變化轉換成電信号,以這種方式來檢測相應物理量的器件。在生活中都用到很多磁傳感器,比如說指南針,電腦硬盤、家用電器等等。
發展曆程
磁傳感器的發展,在本世紀70~80年代形成高潮。90年代是已發展起來的這些磁傳感器的成熟和完善的時期。
集成電路技術的應用。将矽集成電路技術用于磁傳感器,開始于1967年。Honeywell公司Mi2croswitch分部的科技人員将Si霍爾片和它的訊号處理電路集成到一個單芯片上,制成了開關電路,首開了單片集成磁傳感器之先河。已經出現了磁敏電阻電路、巨磁阻電路等許多種功能性的集成磁傳感器。
InSb薄膜技術的開發成功,使InSb霍爾元件産量大增,成本大幅度下降。最先運用這種技術獲得成功的日本旭化成電子公司。
強磁性合金薄膜。1975年面市的強磁合金薄膜磁敏電阻器利用的是強磁合金薄膜中的磁敏電阻各向異性效應。在與薄膜表面平行的磁場作用下,以坡莫合金為代表的強磁性合金薄膜的電阻率呈現出2%~5%的變化。利用這種效應已制成三端、四端磁阻器件。四端磁阻橋已大量用于磁編碼器中,用來檢測和控制電機的轉速。此外,還作成了磁阻磁強計、磁阻讀頭以及二維、三維磁阻器件等。
巨磁電阻多層膜。由不同金屬、不同層數和層間材料的不同組合,可以制成不同的機制的巨磁電阻磁傳感器。它們呈現出的随磁場而變化的電阻率,比單層的各向異性磁敏電阻器的要高出幾倍,正受到研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關注,已見有5G字節的自旋閥頭的設計分析的報導。



















