刘明

刘明

中国家科学院院士
刘明,女,1964年4月出生于江西丰城[1],微电子科学与技术专家,中国科学院院士、发展中国家科学院院士,中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师,微电子器件与集成技术重点实验室主任,中国科学技术大学国家示范性微电子学院院长。1981年刘明考入合肥工业大学,先后获得学士、硕士学位;1998年获得北京航空航天大学博士学位;2000年被聘为中国科学院微电子研究所研究员和纳米加工与新器件集成技术研究室主任;2008年获得国家杰出青年科学基金资助;2015年当选中国科学院院士;2018年出任中国科学技术大学国家示范性微电子学院院长,同年当选发展中国家科学院院士。刘明长期从事半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究。
  • 中文名:刘明
  • 民族:汉
  • 职业:中国家科学院院士

人物经历

1964年4月,刘明出生于江西丰城市,籍贯安徽宿州。

1985年,刘明从合肥工业大学本科毕业,获得学士学位。

1988年,刘明从合肥工业大学硕士研究生毕业,获得硕士学位。

1998年,刘明从北京航空航天大学博士研究生毕业,获得博士学位。

2000年,刘明被聘为中国科学院微电子研究所研究员和纳米加工与新器件集成技术研究室主任。

2008年,刘明获得国家杰出青年科学基金资助。

2015年7月31日,刘明入选中国科学院院士增选初步候选人名单,12月7日当选中国科学院院士。

2018年1月25日,刘明出任中国科学技术大学国家示范性微电子学院院长,同年当选发展中国家科学院院士。

2021年2月4日,任中芯国际第三类独立非执行董事及战略委员会成员。

主要成就

科研成就

刘明长期从事半导体存储器和集成电路的微纳加工等方面的研究,阐明了阻变存储器机理,建立了相应的物理模型;提出了功能层掺杂和局域电场增强的阻变存储器性能调控方法,提高存储器整体性能;拓展了新型闪存材料和结构体系,提出新的可靠性表征技术、失效模型和物理机理;发展了集成电路的微纳加工技术并拓展到禁运的短波衍射元件研制中。

刘明在国际上首次采用软X射线曝光技术实现了256位分子存储器;在32nm技术节点以下的非挥发性存储器替代方案上,提出了利用金属掺杂的技术手段来提高阻变存储器(RRAM)性能和成品率的方法,成为国际上最早提出此概念的两个小组之一,在渐进型的非挥发性存储器替代方案上,着眼于纳米晶浮栅存储结构(Nano-Floating Gate)。

人才培养

刘明提出:导师应首先做到让学生尊重信赖的人,并建议年轻导师保持乐观的生活和工作态度,学高为师,身正为范。

社会任职

时间

担任职务

2017年11月

IEEE, Fellow

2016年01月

《the EDS Newsletter》Regional Editor

2016年01月

IEEE EDS Beijing Chapter 主席

2015年01月

国家重点研发计划纳米科技重点专项专家组成员

2014年01月

中国真空学会理事

2013年01月

《中国科学》编委

2011年01月

IEEE Electron Devices Society, Distinguished Lecturer

2011年01月

《Applied Physics A》编辑

2010年12月

无锡华润微电子有限公司掩模工厂技术顾问

2008年06月

中国科学院科学出版社基金

2008年04-月

“纳米科学技术大系”编委会

2007年01月

中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室学术委员会

2006年09月

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会,第一届理事会名誉理事长

2002年11月

中国材料研究学会青年委员会

人物评价

刘明长期致力于微电子科学技术领域的研究,在存储器模型机理、材料结构、核心共性技术和集成电路的微纳加工等方面做出了系统、创造性贡献。她建立了阻变存储器(RRAM)物理模型,提出并实现高性能RRAM和集成的基础理论和关键技术方法,产生重要国际影响。(中国科学技术大学国家示范性微电子学院评)

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