内熱式真空熱處理爐

概念

内熱式真空熱處理爐是将整個加熱裝置（加熱元件、耐火材料）及砍處理的工件均放在真空容器内，而不用爐罐的爐子。

優點

1，可以制造大型高溫爐，而不受爐罐的限制

2，加熱和冷卻速度快，生産效率高。

缺點

1，爐内結構複雜，電氣絕緣性要求高

2，與外熱式真空爐相比，爐内容積大，各種構件表面均吸附大量氣體需配大功率抽氣系統

3，考慮真空放電和電氣絕緣性，要低電壓大電流供電，需配套系統。