中频交流磁控溅射电源

中频交流磁控溅射电源

中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。